邮编212-0014
神奈川县川崎市幸区大宫町1310
Muza川崎Central Tower 23F
信息电子化学品事业部主要供应国内外半导体制造商使用于液晶面板、LED、太阳能电池等的生产工序的高纯度气体、药品及设备。
事业部介绍
邮编746-0006
山口县周南市开成町4980
邮编212-0014
神奈川县川崎市幸区大宫町1310
Muza川崎Central Tower 23F
生产和开发据点
主要製品
電子材料用高纯度气体
- 制造半导体、液晶面板、LED 照明灯具、以及太阳能电池等产品时，都必须使用半导体用高纯度气体。昭和电工集团提供氨气、氯气和氟类气体等数十种产品，供客户自由选用。
- 高纯度FC-14
- 高纯度HFC-23
- 高纯度HFC-32
- 高纯度FC-116
- 高纯度FC-C318
- 高纯度三氯化硼
- 高纯度氯
- 高纯度溴化氢
- 高纯度六氟化硫
- 高纯度氨
- 高纯度HFC-41
- 高纯度FC-218
- 高纯度FC-2316
- 高纯度一氧化二氮（电子材料用等）
高纯度装置
- 酸性气体用干法刻蚀废气处理装置
- PFC（地球温暖化气体）用干法刻蚀废气处理装置
- 耐蚀和耐摩金属表面处理
SOLFINE
- 电子工业用高纯度溶剂
- 液晶用溶剂
- 电子器件用溶剂
- 光刻胶用溶剂
- 印刷基板用溶剂
- 光刻胶剥离剂
- 选择性蚀刻液
